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真空感应区熔炉

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纳米材料表面分析仪（原子力显微镜）

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硅料碳氧含量测试仪

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少子寿命测试仪

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太阳光模拟器（带光源校准附件）

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真空镀膜机

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电池片EL检测仪

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傅里叶变换红外光谱仪

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手套箱系统

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微电子打印机

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